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拉曼激發(fā)和收集模塊 |
激光波長 |
532 nm |
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激光功率 |
100 mW |
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自動對焦 |
•在全掃描范圍自動聚焦和實時表面跟蹤 •對焦精度<0.2微米
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顯微鏡 |
•用于樣品定位和成像 •100x，半復消色差物鏡
•空間分辨率<2微米
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拉曼頻移范圍 |
80-9000 cm-1 |
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樣品移動和掃描平臺 |
平移臺 |
•掃描范圍大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。
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樣品臺 |
•8寸吸氣臺（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圓片
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光譜儀和探測器 |
光譜儀 |
•320 mm焦長單色儀，接面陣探測器。 •分辨率<2.0 cm-1。
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軟件 |
控制軟件 |
•可選擇區(qū)域或指定點位自動進行逐點光譜采集 |
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Mapping數(shù)據(jù)分析軟件 |
•可對光譜峰位、峰高和半高寬等進行擬合。 •可自動擬合并計算應力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品數(shù)據(jù)庫可定制。
•將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。
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13810146393
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